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      蒸发材料

      电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种,是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料,使蒸发材料气化并向基板输运,在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中,被加热的物质放置于水冷的坩埚中,可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量,因此,电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜,同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚,实现同时或分别蒸发,沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发,任何材料都可以被蒸发,不同材料需要采用不同类型的坩埚以获得所要达到的蒸发率。

      Goodwill可以提供1~3mm,3~6mm等不同尺寸的蒸发材料。

      单质蒸发材料

      高纯金属蒸发材料
      名称
      分子式
      纯度
      名称
      分子式
      纯度
      高纯银
      Ag
      3N~5N
      高纯镍
      Ni
      3N~5N
      高纯铝
      Al
      3N~5N
      高纯铅
      Pb
      3N~5N
      高纯金
      Au
      3N~5N
      高纯钯
      Pd
      3N~5N
      高纯铋
      Bi
      3N~5N
      高纯铂
      Pt
      3N~5N
      高纯镉
      Cd
      3N~5N
      高纯锑
      Sb
      3N~5N
      高纯钴
      Co
      3N~5N
      高纯硒
      Se
      3N~5N
      高纯铬
      Cr
      3N~5N
      高纯硅
      Si
      3N~5N
      高纯铜
      Cu
      3N~5N
      高纯锡
      Sn
      3N~5N
      高纯铁
      Fe
      3N~5N
      高纯钽
      Ta
      3N~5N
      高纯锗
      Ge
      3N~5N
      高纯碲
      Te
      3N~5N
      高纯铟
      In
      3N~5N
      高纯钛
      Ti
      3N~5N
      高纯镁
      Mg
      3N~5N
      高纯钨
      W
      3N~5N
      高纯锰
      Mn
      3N~5N
      高纯锌
      Zn
      3N~5N
      高纯钼
      Mo
      3N~5N
      高纯锆
      Zr
      3N~5N
      高纯铌
      Nb
      3N~5N


      3N~5N

      化合物蒸发材料

      氧化物蒸发材料
      名称 分子式 纯度 名称 分子式 纯度
      氧化铝 AL2O3
      3N~5N
      氧化钪 Sc2O3 3N~5N
      氧化铋
      Bi2O3
      3N~5N
      氧化钐 Sm2O3 3N~5N
      氧化铬
      Cr2O3
      3N~5N
      一氧化钛 TiO 3N~5N
      氧化铈
      CeO2
      3N~5N
      二氧化钛 TiO2 3N~5N
      氧化铒
      Er2O3
      3N~5N
      三氧化二钛 Ti2O3 3N~5N
      二氧化铪
      HfO2
      3N~5N
      氧化钒 V2O5 3N~5N
      氧化铟锡
      ITO
      3N~5N
      三氧化钨 WO3 3N~5N
      氧化镁
      MgO
      3N~5N
      氧化钇 Y2O3 3N~5N
      氧化铌
      Nb2O5
      3N~5N
      氧化锆
      ZrO2 3N~5N
      氧化钕
      Nd2O3
      3N~5N
      氧化锌
      ZnO 3N~5N
      一氧化硅
      SiO
      3N~5N
      氧化镍
      NiO 3N~5N
      二氧化硅
      SiO2
      3N~5N



      氟化物蒸发材料
      名称 分子式 纯度 名称 分子式 纯度
      氟化钡 BaF2
      3N~5N
      氟化镧 LaF3 3N~5N
      氟化钙
      CaF2
      3N~5N
      氟化镁 MgF2 3N~5N
      氟化铈
      CeF3
      3N~5N
      氟化钠 NaF 3N~5N
      氟化镝
      DyF3
      3N~5N
      氟化钕 NdF3 3N~5N
      氟化饵
      ErF3
      3N~5N
      氟化锶 SrF3 3N~5N
      氟化钾
      KF
      3N~5N
      氟化钐 SmF3 3N~5N
      氟化镱
      YbF3
      3N~5N
      氟化钇 YF3 3N~5N
      其他化合物蒸发材料
      名称 分子式 纯度 名称 分子式 纯度
      氮化铝 AlN
      3N~5N
      钛酸镨 PrTiO3 3N~5N
      氮化硼
      BN
      3N~5N
      碳化硅 SiC 3N~5N
      钛酸钡
      BaTiO3
      3N~5N
      钛酸锶 SrTiO3 3N~5N
      硫化铜
      CuS
      3N~5N
      氮化硅 Si3N4 3N~5N
      碳化铪
      HfC2
      3N~5N
      氮化钛 TiN 3N~5N
      钛酸镧
      LaTiO3
      3N~5N
      硒化锌 ZnSe 3N~5N
      冰晶石
      Na3AiF6
      3N~5N
      硫化锌 ZnS 3N~5N
      掺杂化合物蒸发材料
      名称 分子式 纯度 名称 分子式 纯度
      氧化铝+氧化钛 Al2O3+TiO2
      3N~5N
      氧化钛+氧化钽 TiO2+Ta2O5 3N~5N
      氧化铝+氧化锌
      Al2O3+ZnO
      3N~5N
      氧化钛+氧化铌 TiO2+Nb2O 3N~5N
      氧化铝+氧化镁
      Al2O3+MgO
      3N~5N
      氧化锆+氧化钽 ZrO2+Ta2O5 3N~5N
      氟化铈+氟化钙
      CeF3+CaF2
      3N~5N
      氧化锆+氧化钇 ZrO2+Y2O3 3N~5N
      氧化铟+氧化锡
      In2O3+SnO2
      3N~5N
      氧化锆+氧化铝 ZrO2+Al2O3 3N~5N
      氧化锡功能膜料
      SnO2+Pt/Pd
      3N~5N
      氧化锆氧化钛 ZrO2+Ti3O5 3N~5N


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